机械规格

型号ANT95-25-L-ZPLUS

ANT95-50-L-ZPLUS

ANT130-035-L-ZPLUS

ANT130-060-L-ZPLUS

行程25 mm 50 mm 35 mm 60 mm

精度±300 nm ±300 nm ±300 nm ±300 nm

机械规格

型号ANT95-3-V ANT95-3-V-PLUS ANT130-5-V ANT130-5-V-PLUS

行程 3 mm 3 mm 5 mm 5 mm

精度±2 μm ±200 nm ±2 μm ±200 nm

Aerotech 的 ANT 系列平台是全球首款具有多种行程的纳米级定位系统。ANT95-3-V 和 ANT130-5-V 是由线性电机驱动的楔型垂直举

升平台。这些平台可与 ANT 系列中的其它平台无缝集成，能够实现卓越的多轴性能。这些平台可提供两种精度等级。

ANT-20G

? 非接触、无接头、无摩擦型直驱，适

用于零间隙或零磁滞情形

? 高速（150 度/秒）

? 高分辨率（0.05 弧秒）

? 优异的静态定位稳定性

? 20° 大旋转角度

? 两个摇台采用正交安装方式，可围绕

同一点进行旋转

? 免维护

? 紧凑型设计

Aerotech 的 ANT 系列平台是全球首款行程大于 25 mm 的纳米级定位系统。ANT95-XY 是一种带有交叉滚子轴承、线性电机的双轴

平台，该平台延续了 ANT 系列平台的发展趋势。ANT95-XY 采用积木型设计，可在两个维度（X 和 Y）中走行。其设计时尚，型面

极低、仅有 60 mm。该平台采用专有的直驱电机技术、非接触型线性编码器、限位装置，以及集成型电缆管理系统，并具有三个精

度等级 (BASE/PLUS/ULTRA)。