晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。
一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。Photolithography(光刻) 意思是用光来制作一个图形(工艺);在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。
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光刻机的匹配使用是指同一产品不同的工艺图层可以分别在不同型号或同一型号不同系列的光刻机上进行光刻,而不影响光刻工艺的质量。场镜误差的匹配性最终反映在民机场内套刻误差的差异性上,因为每种透镜均有一个特征畸变图形,其位置误差作为曝光像场位置的一种函数。
晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。
光刻注意事项给出如下:
涂胶
涂胶时要注意将基片放在吸盘正中间,且吸盘水平度较高,否则会影响胶模厚度的均匀性;匀胶时一般先低速旋转将胶模铺开,然后高速决定胶模厚度,一般转速在1000~5 000 rpm。