晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。由于我们的客户遍布全国各地,我们有专业的设备存储,运输及调试的一条龙服务团队。
分类光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动A手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了
传统光刻机的演变和所面临的挑战
光刻机是诸多现代技术高度集成的产物, 这些技术是:物理学,光学,化学,材料科学,精密机械,精密控制,工程学等等。在过往的20几年中,光刻机作为半导体制造业的重要设备,经历了很多次革命。这些变革是伴随着微处理器和DRAM特征尺寸的不断缩减发生的演变。 由于光刻的分辨率与曝光波长、物镜光阑孔径的关系为:分辨率=K1λ/NA所以光刻机的革命主要发生在这样几个方面[2-8]:大NA非球面镜光学系统,短波长光源,分辨率增强技术(降低K1因子),同步扫描工件台等。
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光刻机光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动
高端光刻机堪称现代光学工业之花,其制造难度之大,全世界只有少数几家公司能够制造。国外品牌主要以荷兰ASML(镜头来自德国),日本Nikon(intel曾经购买过Nikon的高端光刻机)和日本Canon三大品牌为主。