设备形式: 室内放置型。
控制模式: 手动控制模式 自动控制模式。
适用于硅芯横梁及基座料腐蚀清洗干燥：
硅芯:(2000—2500) mm x(∮7-10) mm圆形硅芯； 横梁:(300-500)mmx(∮7-10) mm；基座料：(250-350)mmx(∮40-50) mm；
硅棒:(2000—2500) mm x(∮120-150) mm圆形硅棒
产能：硅芯24条（11KG）/篮/批 硅棒1条（100KG）/篮/批；
工艺流程：设备走向统一采用‘前进后出’方式;操作时由操作人员上料工位准备区人工上料→经腐蚀+喷淋快排→溢流→超声→切水干燥等工艺处理合格后经操作人员下料工位准备区人工下料;
机械手单独急停开关、系统急停开关和机械手电机自动过载保护等多重保护，确保操作者的安全。
机台总体结构暂定为机械运行机构装置与机台上方，可拆卸及便于维修与保养。
外形尺寸、生产能力等根据客户具体要求确定。
产品分类：
半导体：显影机 片盒清洗机 酸/碱刻蚀机 化学镀金/镀镍机 金属腐蚀机 部件清洗机 单面酸雾腐蚀机 石英炉管清洗机 去胶机 钟罩/坩埚清洗机 有机清洗机 CDS供液系统 无机清洗机 氮气存储柜 最终清洗机 单片式清洗机 废气处理系统
太阳能：硅粉腐蚀清洗机 石墨舟清洗机 硅料/块腐蚀清洗机 石墨框清洗机 超声波清洗机 去磷硅玻璃清洗机 切片后清洗机 隧道干燥系统 预清洗机 SUS烘干箱 炉前清洗机 厂务CDS管道安装 制绒腐蚀清洗机 石墨舟石英管存放柜 返工片清洗机
光电子器件设备：切割后清洗机 外延备件清洗机 抛光后清洗机 芯片备件清洗机 退火前清洗机 高温磷酸清洗机 研磨后清洗机 光刻板清洗机 脱蜡清洗机
液晶/玻璃基板：PR前清洗机 显影机 PI前清洗机 刻蚀机 TOP前清洗机 LCD清洗机
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