花篮和片盒清洗机_华林科纳CSE

适应当前所有型号的花篮和片盒、传输片盒、前端开口片盒 （Foup片盒）的清洗和干燥系统

优点

装载晶圆直径至200mm的花篮和片盒—或不同晶圆尺寸的花篮和片盒，同时可装载晶圆直径至300mm的前端开口片盒（Foup片盒） 三种设备尺寸满足客户特殊需求

> CleanStep I – 用于4组花篮和片盒 加载和清洗能力：每次4组花篮和片盒 清洗产能：每小时12组花篮和片盒

> CleanStep II – 用于8组花篮和片盒 加载和清洗能力：每次8组花篮和片盒 清洗产能：每小时24组花篮和片盒

> CleanStep III – 用于6组前端开口片盒（Foup） 加载和清洗能力：每次6组前端开口片盒（Foup片盒） 清洗产能：每小时18组前端开口片盒（Foup片盒）

> 适用于晶圆直径至200mm的花篮和片盒的标准旋转笼 (Cleanstep I/II)

> 适用于所有片盒一次清洗过程

> 或是同时4组花篮和片盒，或是12个花篮(Cleanstep I/II)

> 简单快捷的对不同尺寸的片盒和花篮进行切换 > 旋转笼内的可旋转载体方便加载或卸载花篮和片盒

> 通过控制系统对自锁装置的检测，达到安全加载片盒和花 篮，及其运行