机械规格

型号ANT95-25-L-ZPLUS

ANT95-50-L-ZPLUS

ANT130-035-L-ZPLUS

ANT130-060-L-ZPLUS

行程25 mm 50 mm 35 mm 60 mm

精度±300 nm ±300 nm ±300 nm ±300 nm

机械规格

型号ANT95-3-V ANT95-3-V-PLUS ANT130-5-V ANT130-5-V-PLUS

行程 3 mm 3 mm 5 mm 5 mm

精度±2 μm ±200 nm ±2 μm ±200 nm

Aerotech 的 ANT 系列平台是全球首款具有多种行程的纳米级定位系统。ANT95-3-V 和 ANT130-5-V 是由线性电机驱动的楔型垂直举

升平台。这些平台可与 ANT 系列中的其它平台无缝集成，能够实现卓越的多轴性能。这些平台可提供两种精度等级。

机械规格

型号ANT95-360-R ANT95-360-R-PLUS ANT130-360-R ANT130-360-R-PLUS

旋转角度±360° 连续±360° 连续±360° 连续±360° 连续

精度10 弧秒3 弧秒10 弧秒3 弧秒

非接触直接驱动

直线电机驱动也能提供高速和加速度的优势。紧凑且大功率的直线电机驱动使ANT130-L平台空载可达到1g的峰值加速度和350mm/s的高速度。产生了明显比高精度丝杠驱动或业内其他平台更优胜的杰出生产力的高精度设备。