对各种真空泵性能，都有规定的测试方法来检验其性能的优劣，真空泵的主要性能有一线几个。

1）极限压力。将真空泵与检测容器相连，放入待测气体后，进行长时间连续抽气，当容器能的气体压力不再下降，而维持在某一定值时，次压力即为泵的极限压力。

2）流量。在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体量称为泵的流量。在真空技术中，流量的单位用压力*体积/时间来表示，即Pa.m3/s或Pa.m3/h表示。通常泵要给出流量与入口压力的关系曲线。

清洁表面、低杂质气体含量、易脱气：

清洁表面是先决条件。但是，任何暴露于环境空气中的表面都会覆盖上一层吸附层。以化学或物理形式将分子吸附在材料表面或材料间隙内的气体分子，一旦解吸（当在它们从表面分离时）也是气体来源的一部分。要实现高的极限压力，必须使用具有低解吸率的材料。示例：单层吸附气体约等于 4 · 10 -2 Pa · m 3 /m 2 的气量。设想一根直径为50 cm，长度为 100 cm 的管子，两端封闭（表面积大约为2 m 2 ，体积大约为 200 l），单层释放导致压力上升大约0.4 Pa 或 4 · 10 -3 hPa。这并没有考虑管道的表面积总是大于其几何面积这一实际情况。

确定极限真空度

在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的最l佳工作真空度。

一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。

主真空泵的选择计算

s=2.303v/tlog(p1/p2)其中：s为真空泵抽气速率、v为真空室容积、t为达到要求真空度所需时间、p1为初始真空度、p2为要求真空度。