■ 抗热冲击性能好、膨胀率适应性好：

示例：不同热膨胀将铝密封件与不锈钢法兰组合的最l高允许温度限制在 150°C 左右。经常在过高温度之后，在冷却过程中发生密封效果恶化的情况。

■ 耐腐蚀性、耐化学性：

示例：很多真空镀膜过程需要化学性质活泼的过程气体。因此，有必要考虑所使用的液体是否会影响到部件或密封件。尤其是薄壁部件，如金属波纹管，容易受到腐蚀。如有必要，应该在测试中确定其使用寿命。对于特殊的应用，可能可能还会对材料有更多要求。

一般的规则是：所需工作压力越低，对材料的要求越高，可使用的材料选择性越小。因此，特别在HV（超高真空）技术中，材料的选择非常重要。

(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；

(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；

(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；

(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；

(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；

(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。

在整个操作温度范围内要保证足够的机械强度：

除了要保证其结构的完整性，还必须确保功能表面的变形不会对其功能特性造成影响。示例：真空室部件上的大气压力大约为 10 N/cm 2 。在面积为 1 m 2 的表面上，将产生100,000 N 的压力。

低固有蒸气压、高熔沸点：

固有蒸气压太高会限制最终的真空压力。除了油和润滑脂的真空兼容性，在合金中，必须考虑金属固有的蒸气压或其在合金中的分压。示例：对于黄铜制品，锌在高真空中的分压被限制在最l高允许温度大约为 100°C。