在整个操作温度范围内要保证足够的机械强度：

除了要保证其结构的完整性，还必须确保功能表面的变形不会对其功能特性造成影响。示例：真空室部件上的大气压力大约为 10 N/cm 2 。在面积为 1 m 2 的表面上，将产生100,000 N 的压力。

低固有蒸气压、高熔沸点：

固有蒸气压太高会限制最终的真空压力。除了油和润滑脂的真空兼容性，在合金中，必须考虑金属固有的蒸气压或其在合金中的分压。示例：对于黄铜制品，锌在高真空中的分压被限制在最l高允许温度大约为 100°C。

清洁表面、低杂质气体含量、易脱气：

清洁表面是先决条件。但是，任何暴露于环境空气中的表面都会覆盖上一层吸附层。以化学或物理形式将分子吸附在材料表面或材料间隙内的气体分子，一旦解吸（当在它们从表面分离时）也是气体来源的一部分。要实现高的极限压力，必须使用具有低解吸率的材料。示例：单层吸附气体约等于 4 · 10 -2 Pa · m 3 /m 2 的气量。设想一根直径为50 cm，长度为 100 cm 的管子，两端封闭（表面积大约为2 m 2 ，体积大约为 200 l），单层释放导致压力上升大约0.4 Pa 或 4 · 10 -3 hPa。这并没有考虑管道的表面积总是大于其几何面积这一实际情况。

真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的最l大缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的重心偏向电动机和齿轮箱一侧。