高速X射线管球的搭载，实现了高精度的测定。而且配合极微小准直器和光学变焦镜头可以实现极微小部分的测定。更可以对有高低平面差异的样品进行测定。   

特长

1.搭载了75W高性能X射线管。

2.搭载标准的Φ50μm微小准直管（最小Φ15μm）。

3.容易对微小领域进行观察。搭载了能4阶段切换的可变焦距光学系统。

4.依据照明能很容易对以前观察困难的样品进行观察。

5.搭载了防止有凹凸的样品碰撞的传感器。

6.搭载了焦点切换功能，能够对有高度的样品的低部分进行测定。

7.利用伺服马达精确的驱动平台。

8.运用激光聚焦功能简单实现位置的调整。