出售一台8成新NIDEK平坦度测试仪FT-17 ,有需要的老板快快下手。
NIDEK平坦度测试仪FT-17 产品详情
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品牌:NIDEK
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型号:FT-17
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测量范围:线距感光的30倍
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测量精度:0.01UM
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电源:100V
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用途:半导体晶片加工
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加工定制:否
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外形尺寸:521*485*438mm
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重量:90kg
NIDEK平坦度测试仪FT-17
NIDEK CO.,LTD.制造的平坦度测试仪在国际上享有盛誉,被半导体晶片加工厂家广泛使用。
NIDEK FT-17平坦度测试仪功能简介
一,FT-17是∮130mm以下各类晶片平坦度测试装置,该装置采用激光斜射干涉技术
二,可设定1,2,3,4,5μm/fringe的干涉条纹。
三,接入标准的解析装置,以表示各类晶片的平面度。测定结果,可用各种测定值,等高线图,俯视图,断面图等图表示。
四,无须校准
五,以专用解析装置控制程序使操作变得容易
NIDEK FT-17平坦度测试仪技术参数
1,测定方法:光波干涉方法(倾斜入射)
2,光源:半导体激光(655nm,3mw)
3,样片尺寸:∮130mm以下,但是平坦度在∮100mm以下
4,样片厚度:2000um以下(平坦度测定250um-1000um以下)但是承受台最大10mm、其他厚度请以其他方式商谈
5,样片的种类:晶片(硅、化合物、酸化物、玻璃)金属片、磁碟(铝、玻璃)模具等 镜面及非镜面(除反射率低的非镜面)
6,样片的倾斜角度:比垂直向前倾斜8度
7,干涉计设定感度:1,2,3,4,5μm/线距
8,测定范围:线距感光的30倍(线距状况、有比镜片尺寸等30倍以下的场合)
9,摄像光学比:3倍以上
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电源:AC100V