一、设备名称
南通华林科纳CSE-全自动湿法去胶清洗机设备
二、设备槪況
尺寸(参考):约3500 (L) *1500(W)*2000(H)(具体尺寸根据实际图纸确定)
清洗件规格:一次性可装8寸晶片25PCS
典型生产节拍:5~10min/篮(清洗节拍连续可调)
门:不锈钢合页门+PVC视窗
三、主题构造特点
设备由是在一个腐蚀的环境,我们设备的排风方式,台面下抽风,每套工艺清洗槽都有自动开闭的槽盖,槽盖下有单独的抽风装置。
设备结构外型,整机主要由机架、工艺槽体、机械手传输系统、排风系统、电控系统、水路系统及气路系统等组成。
由于工艺槽内药液腐蚀性强,设备需要做防腐处埋:
设备机架采用钢结构骨架包塑;
壳体采用镜面SUS316L不锈钢焊接,制程区由耐腐蚀的SUS316L板材组台焊接而成;
电气区设置在设备后上部,与湿区和管路区完全隔离;
槽体材料选用耐相应溶液腐蚀的材料;
机械手探入湿区部分的零部件表面喷氟或套PFA管处埋。
四、应用领域
集成电路、声表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先进封装等
五、公司简介
南通华林科纳半导体设备有限公司于2014年11月成立,主要从事半导体设备、太阳能光伏设备、液晶湿制程设备、真空设备的研发、技术推广和生产销售。
通过与国际上知名公司的广泛合作,目前已形成湿法清洗系统 刻蚀系统CDS系统 尾气处理系统的四大系列数十种型号的产品,广泛直用于大规模集成电路、电力电子器件、分立器件、光电子器件、MEMS和太阳能电池等领域,以优质的产品和优良的服务赢得了各界用户的赞许和信赖。
其经营范围:半导体清洗设备、太阳能光伏设备组装、生产、设计、研发、销售,以及相关技术胜广,自营和代理上述商品及技术的进出口业务。