一、设备名称
南通华林科纳CSE - 终清洗机设备
二、设备用途
清洗槽用于6/8吋兼容，集成电路制造工艺的终清洗。配合LOAD and OAD的上下料，实现干进干出，每批次50枚Cassette Type 的高效清洗。拥有三种工艺槽，三水槽+一个干燥单元：
1个DHF清洗槽、一个OF槽、一个SC-1槽、一个QDR槽、一个SC-2槽、一个QDR槽、一个干燥槽。
三、设备功能
Chemical BATH：自动换酸。自动洗槽，自动槽内配比。
DIW BATH：Pre Flow and After Change Function。
S/D：6/8 Inch 自动换位，旋干。
机械手臂：Chuck open/Close Type，Speed为可控变动；
Schedule：排程计算，实现多批次同时清洗，不发生Process Over Time。
Safety：Door，TEMP，LEVEL，Exhaust…等等INTERLOCK Safety。
四、设备工艺流程
进货区（LOAD）→DHF（100:1）→OF槽→SC-1槽→QDR槽→SC-2槽→ORD槽→S/D槽→出货区（UNLOAD）
High WPH Type：AWB200-T。双Cassette 50枚/槽。
6/8 inch 兼容Cassette Type
前面式机械手臂ARM-1、ARM-2、ARM-3共三套。
机台上部设有高效过滤器（FFU）。
五、工艺技术指标
设备应实现全自动作业，可自动过程控制工艺、冲水及干燥全套作业，并具备自动供液、自动洗槽、SC1-1槽带有兆生；可编程选择工艺槽及工艺时间进行清洗。
通过DHF/SC-1/SC-2完成终清洗工艺，对圆片表面沾污及颗粒实现有效清洗。颗粒要求0.2um，0.16um作为参考，金属1E 10。
N2过滤精度：0.01μm。