西门子法是由德国Siemens公司发明并于1954年申请了专利1965年左右实现了工业化。经过几十年的应用和展，西门子法不断完善，先后出现了第i一代、第二代和第三代，第三代多晶硅生产工艺即改良西门子法，它在第二代的基础上增加了还原尾气干法回收系统、SiCl4回收氢化工艺，实现了完全闭环生产，是西门子法生产高纯多晶硅技术的最i新技术，其具体工艺流程如图1所示。硅在西门子法多晶硅生产流程内部的循环利用。

硅i烷法

硅i烷法是将硅i烷通入以多晶硅晶种作为流化颗粒的流化床中，是硅i烷裂解并在晶种上沉积，从而得到颗粒状多晶硅。因硅i烷制备方法不同，有日本Komatsu发明的硅化镁法，其具体流程如图2所示、美国Union Carbide发明的歧化法、美国MEMC采用的NaAlH4与SiF4反应方法。

多晶硅,定向多晶硅配方工艺

1、制备高纯定向结晶多晶硅的设备及其制备方法

[简介]： 一种制备高纯定向结晶多晶硅的设备包括真空室、冷坩埚、主感应器、结晶装置、冷却器；冷坩埚安装在真空

室内，冷坩埚用紫铜制备成，其包括一圆筒形状的坩埚壁和一与坩埚壁分离的坩埚底，坩埚壁被分割成若干坩埚瓣，每一

个坩埚瓣...

制备高纯定向结晶多晶硅的设备及其制备方法

[简介]： 一种具有定向凝固组织多晶硅锭的制备装置，它涉及一种多晶硅锭的制备装置，以解决现有多晶硅锭的制备是

在陶瓷或石墨套筒中，套筒内壁对多晶硅产生污染，导致多晶硅锭纯度低的问题。冷却器设置在真空室的底板上，拉杆设

置在冷...

一种多晶硅定向长晶热场结构

[简介]： 本发明涉及一种三为一体多晶硅定向结晶炉，包括：坩埚7；所述的坩埚7是无底复合陶瓷坩埚或水冷坩埚；在坩埚7的二侧安置感应圈6；在坩埚7的上部安置一个等离子*9；所述的坩埚7、感应圈6以及等离子*9的前端...

三为一体多晶硅定向结晶炉

[简介]： 本实用新型涉及一种三位一体多晶硅定向结晶炉，包括：坩埚7；所述的坩埚7是无底复合陶瓷坩埚或水冷坩埚；在坩埚7的二侧安置感应圈6；在坩埚7的上部安置一个等离子*9；所述的坩埚7、感应圈6以及等离子*9的...

三位一体多晶硅定向结晶炉

[简介]： 本发明提供了一种冶金法生产太阳能多晶硅用定向凝固器及多晶硅生产方法，所述定向凝固器炉壳内依次设有保温膨胀层、耐火层、高纯石英粉涂层和氮化硅涂层，石墨加热板设置在炉壳的上部，所述底座内设有通气或者通水的管路。方...