用于多晶硅垂直定向生长的随动隔热环热场结构

[简介]： 本实用新型涉及一种多晶硅定向结晶炉，它包括炉体和炉盖，炉膛四周安装硅钼棒，硅钼棒的电流输入、输出端分别通过电导线与炉体外壳壁上的电源连接器连接，硅钼棒的电流输入、输出端与电导线之间通过弹簧卡接装置连接；弹簧卡...

多晶硅定向结晶炉

[简介]： 一种多晶硅定向长晶热场结构，属太阳能多晶硅晶体的定向生长热场结构技术领域，主要由保温隔热笼体1，置于保温隔热笼体1内的加热器6和热交换台5，置于保温隔热笼体1底部可上下垂直运动的带支撑导杆4的保温隔热...

一种多晶硅定向长晶热场结构

[简介]： 一种多晶硅定向长晶热场结构，属太阳能多晶硅晶体的定向生长热场结构技术领域，主要由保温隔热笼体1，置于保温隔热笼体1内的加热器6和热交换台5，置于保温隔热笼体1底部可上下垂直运动的带支撑导杆4的保温隔热...

多晶硅锭定向凝固炉抽气过滤器

[简介]： 一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置。一种水冷装置，具体涉及一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置。本发明为了解决在定向凝固多晶硅时，现有装置预热不佳、轴向传热不好，传热速率不均匀而造成硅锭断裂的问题。本发明包括石墨预...

一种用于多晶硅定向凝固的水冷装置

[简介]： 本发明提出一种定向凝固制备太阳能级多晶硅锭的方法，主要适用于热交换法或坩埚下降法生长太阳能级多晶硅锭。该方法的特征是使用一种新型金属发热体，它包括一方形筒和支撑方形筒的电极。本发明的发热体，可以在高真空条件。

西门子法是由德国Siemens公司发明并于1954年申请了专利1965年左右实现了工业化。经过几十年的应用和展，西门子法不断完善，先后出现了第i一代、第二代和第三代，第三代多晶硅生产工艺即改良西门子法，它在第二代的基础上增加了还原尾气干法回收系统、SiCl4回收氢化工艺，实现了完全闭环生产，是西门子法生产高纯多晶硅技术的最i新技术，其具体工艺流程如图1所示。硅在西门子法多晶硅生产流程内部的循环利用。

硅i烷法

硅i烷法是将硅i烷通入以多晶硅晶种作为流化颗粒的流化床中，是硅i烷裂解并在晶种上沉积，从而得到颗粒状多晶硅。因硅i烷制备方法不同，有日本Komatsu发明的硅化镁法，其具体流程如图2所示、美国Union Carbide发明的歧化法、美国MEMC采用的NaAlH4与SiF4反应方法。