在使用真空镀膜设备的时候经常会遇到这个问题,真空镀膜机抽速太慢太低了。那么面对这种情况有什么解决方法呢?应该如何提高它的抽速呢?
1、如果是刚使用真空镀膜机,可一边抽一边加温(通常都是200℃左右)1-2小时,除去水汽以及附着物。
2、真空蒸发镀膜机在生产的时候产品必须要用烤箱完全干燥之后才能进炉镀膜。
3、真空蒸发镀膜机机械泵加大或增加冷媒。
4、定期保养和更换机械泵,扩散泵油和罗茨泵。
真空镀技术用于生产激光唱片(光盘)上的铝镀膜和由掩膜在印刷电路板上镀金属膜。在真空中制备膜层,包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段,但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。蒸发镀膜 通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为蒸发镀膜。
真空镀膜设备是指一类需要在较高真空度下进行的镀膜。而设备在系统工作的时候难免会遇到一些问题,就比如说系统工作时温度过高,那么如果遇到这种情况想要解决问题,首先的步骤就是找出原因,到底是些什么原因呢?
1.缺油2.供油管线堵塞3.油泵出现问题4.油蒸汽压低于指标5.工作气体温度过高6.油泵中外来物堵塞7.抽气口与排气口错误连接8.环境温度达到或超过油蒸汽压。