炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。真空镀膜设备根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。

夹具运转形式有自转、公转及公转+自转方式，用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求，转动的速度范围及转动精度：普通可调及变频调速等。

如果真空镀膜设备持续不断的使用了6个月以上，真空镀膜设备的抽速就会有明显的变慢，那怎样去维护呢。

一般真空室内漏气都是从室壁上的小孔或者部件之前的链接位细缝中产生，当抽风系统抽气后使真空室内压力下降，外部与内部的压力使气体从压力高的外部流向压力低的真空室，造成真空度下降。为真空镀膜设备做好检漏工作是很重要的，造成真空度下降的原因很多，所以要解决这些原因稳定镀膜的效果。

一般在使用中，真空镀膜机常见的污染物有：1、油脂包括加工、装配、操作的时候沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等；2、操作时候的手汗，吹气的时候的水汽和唾液等等；酸、碱、盐类物质清洗时的残余物质、手汗、水中的矿物质等；还有抛光残渣及环境空气中的尘埃和其它有机物。清洁这些污染物可以改进真空镀膜机工作稳定性，使工作可以更顺利的进行。