冷冻机工作原理：通常在高真空腔内，水气分子是最典型的污染气体，占腔内残余气体 65% 到 95% ，当真空度达到 10-4 mbar 时，水汽分子会非常难抽，为了快速的达到较高的真空度， 研发出水汽深冷泵，快速吸附真空腔内的水汽，辅助抽真空，极短的时间达到10-8 mbar 高真空。
Fast Cycle Water Vapor Cryopump 快速闭环水气深冷泵-冷冻机，通过使用专利的 无毒环保型冷媒，利用麦斯纳（Meissner）吸收原理，使水气分子在低温盘管（Cryocoil）的超低温表面上凝结从而被捕集。低温盘管可直接安装在真空腔中，根据客户腔体定制。
应用：真空镀膜(溅镀、蒸镀)一般使用油扩散泵抽真空，腔体内会残留大量水汽和油蒸汽，不但影响抽真空的时间，水汽和油蒸汽还是镀膜工件主要的污染源，从而影响镀膜产品的产量和质量， 冷冻机在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气，真空抽气时间缩短 75%，企业产能可增加 20% 到 100%！l
冷冻机利用新型无毒环保型冷媒，可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法。与传统 LN2 冷却法对比，冷媒可循环使用，更加降低了企业成本。
组成：
A： 冷冻机主机（铜环和轮子可以选配，方便运输）
B：外部冷凝管(外部连接管)
C：Feedthrough
D：真空腔
E：冷盘(低温盘管)
在售 型号：
型号 | | | | | * |
最大负载 Watts | 4,000 | 2,500 | 1,000 | 1,500 | 3,600 |
抽水汽效率 l/s | 220,000 | 140,000 | 50,000 | 70,000 | 200,000 |
极限真空 mbar | 7 x 10-8 | 1 x 10-9 | 3x10-9 | 8x10-9 | 4x10-8 |
* Polycold 已经停产，替代型号
： 冷媒采用专利新型无毒环保型冷媒，不易燃，我司可提供 MSDS 和上门灌装冷媒服务，原装冷媒采用标准钢瓶包装，外套纸箱，部分型号备有现货
原装冷媒型号：
型号 | PFC-552 HC 原装冷媒 | PFC-672 原装冷媒 | PFC-1102 原装冷媒 | MaxCool 4000 H | MaxCool 2500 L |
数量 | 1套2瓶 | 1套2瓶 | 1套3瓶 | 1套3瓶 | 1套3瓶 |
美国 Brooks 旗下 ，超过40年的研发及制造经验。 辅助抽真空，在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气，帮助企业显著提升产能和镀膜质量。 广泛加装在光驰 Optorun、新柯隆 Shincron、莱宝 Leybold 真空镀膜机。上海伯东是美国 中国地区唯一指定总代理，全权负责 销售和售后维修服务。
扩展阅读：
