大型parylene涂层系统 P260 德国 Diener原装进口
旭阿科技（上海）有限公司
中国 上海
产品属性
图文详情
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品牌
Diener
型号
P260
原理类型
真空化学气相沉积镀膜机
应用领域
光学薄膜
极限真空度
0.02Pa
镀膜室尺寸
Φ640*H800mmmm
工作真空度
1×10-3mbar Pa
升压率
根据工艺而定Pa/h
抽气时间
20min
靶材利用率
90%
基材尺寸
200*200
可镀基材
200*200
卷绕速度
可调m/min
真空室材质
不锈钢
真空获得系统
真空泵
工件运动方式
真空
系统控制
全自动控制
加热温度
700℃
热区加热均匀度
2±℃
冷却方式
液氮/冷阱
流量
可调L/min
蒸发功率
5kW
整机总功率
5kW
适用领域
通用
加工定制
非加工定制
外观尺寸
W700*D500*H700mmmm
重量
100kg
腔体容积
Φ640*H800mm
涂层厚度
0.05～50μm
冷却
液氮可达﹣100℃
极限压力
1×10-3mbar
涂层腔体尺寸
Φ640*H800mm
