Parylene涂层设备 P6
聚二甲苯是一系列基于P-对二甲苯聚合物的总称。
聚对二甲苯涂层来自于粉末状的涂层原料,根据
分子结构的不同,Parylene可分为N型、C型、
D型、HT型等多种类型。经过一系列的化学气象
沉积,聚合而成的薄膜有着非凡的性能。
Parylene涂层优势
l 可抵抗化学和环境侵蚀,对产品无副作用
l 所形成的涂层具有完美的均匀性、缝隙渗透性
l 室温下既可以进行涂层,防止高温损坏基材
l 润滑性能好
l 光透过性能好
主要技术参数:
1.
全自动控制
2.
涂层材料:聚对二甲苯,聚一氯对二甲苯和聚二氯对二甲苯
3.
涂层厚度:0.05~50μm
4.
热解:5KW , 温度 700℃
5.
进气含均匀分散系统
6.
冷却:液氮最低可达﹣100℃
7.
极限压力:1×10-3mbar
,配有两个皮拉尼传感器
8.
涂层腔体尺寸,Ø200 mm*L200mm,容积约6.28L
9.
旋转架尺寸:Ø170mm*L170mm
10.
真空泵系统:双级螺旋泵 16 m3/h, 莱宝
D16B
11.
连接件:25mm真空管,泵与主机连接件,6 bars 干燥无油的空气
12.
外尺寸:W700*D500*H700mm
13.
电源电压:400V/16A/50-60Hz