Parylene涂层设备 P6
聚二甲苯是一系列基于P-对二甲苯聚合物的总称。
聚对二甲苯涂层来自于粉末状的涂层原料，根据
分子结构的不同，Parylene可分为N型、C型、
D型、HT型等多种类型。经过一系列的化学气象
沉积，聚合而成的薄膜有着非凡的性能。
Parylene涂层优势
l 可抵抗化学和环境侵蚀，对产品无副作用
l 所形成的涂层具有完美的均匀性、缝隙渗透性
l 室温下既可以进行涂层，防止高温损坏基材
l 润滑性能好
l 光透过性能好
主要技术参数：
1.
全自动控制
2.
涂层材料：聚对二甲苯，聚一氯对二甲苯和聚二氯对二甲苯
3.
涂层厚度：0.05～50μm
4.
热解：5KW ， 温度 700℃
5.
进气含均匀分散系统
6.
冷却：液氮最低可达﹣100℃
7.
极限压力：1×10-3mbar
，配有两个皮拉尼传感器
8.
涂层腔体尺寸，Ø200 mm*L200mm，容积约6.28L
9.
旋转架尺寸：Ø170mm*L170mm
10.
真空泵系统：双级螺旋泵 16 m3/h, 莱宝
D16B
11.
连接件：25mm真空管，泵与主机连接件，6 bars 干燥无油的空气
12.
外尺寸：W700*D500*H700mm
13.
电源电压：400V/16A/50-60Hz
Parylene涂层设备P300
聚二甲苯是一系列基于P-对二甲苯聚合物的总称。
聚对二甲苯涂层来自于粉末状的涂层原料，根据
分子结构的不同，Parylene可分为N型、C型、
D型、HT型等多种类型。经过一系列的化学气象
沉积，聚合而成的薄膜有着非凡的性能。
Parylene涂层优势
l 可抵抗化学和环境侵蚀，对产品无副作用
l 所形成的涂层具有完美的均匀性、缝隙渗透性
l 室温下既可以进行涂层，防止高温损坏基材
l 润滑性能好
l 光透过性能好
主要技术参数：
parylene N, C, D,
F-VT4
控制: Windows Full PC
涂层厚度: 0.05 ~100 um
外形尺寸：W2700*D2600*1600mm:
裂解管功率及温度: 4 kW / max. 850 °C
样品舱：Φ700mm*H720mm
样品台：Φ600mm*H660mm
耦合剂CVD一体化设计
冷却方式：液氮
真空泵系统：
Leybold D60双级油泵,排气速度63m3/h,极限真空度0.5Pa
外尺寸：L2200*W2700*H1600mm（不包含真空泵）
Parylene涂层设备P260
聚二甲苯是一系列基于P-对二甲苯聚合物的总称。
聚对二甲苯涂层来自于粉末状的涂层原料，根据
分子结构的不同，Parylene可分为N型、C型、
D型、HT型等多种类型。经过一系列的化学气象
沉积，聚合而成的薄膜有着非凡的性能。
Parylene涂层优势
l 可抵抗化学和环境侵蚀，对产品无副作用
l 所形成的涂层具有完美的均匀性、缝隙渗透性
l 室温下既可以进行涂层，防止高温损坏基材
l 润滑性能好
l 光透过性能好
技术参数：
Parylene N, C, D,
F-VT4,F-AF4
涂层厚度: 0.05 ~ 100 um
裂解管功率及温度: 4 kW / max. 850 °C
Gas injection:
homogenous dispersal system
样品舱:Φ640*H800mm
样品台:Φ560*H650mm
耦合剂CVD一体化设计
冷却方式：液氮
等离子预处理模块：80kHz 0~5kW
真空泵系统：
Leybold D60双级油泵,排气速度63m3/h,极限真空度0.5Pa
控制: Windows Full PC
外形尺寸：W2600*D1000*2000mm
