Brthrper-751B OC负型光阻剂 是一款专用于TP行业OGS高温镀膜后绝缘搭桥保护的可显影高精度负型光阻剂。
1.材料组分
| Brthrper-751A |
| 耐高温高分子树脂 | 高显影型丙烯酸低聚物 |
| 齐化交联树脂 | 聚氨酯-丙烯酸交联剂 |
| 光引发剂 | 自由基型光化合物 |
| 助剂 | 流平剂、附着力促进剂、消泡剂等 |
| 溶剂 | PGMEA、PM、EEP |
2.黄光工艺
| Brthrper-751A |
Coating | Slit or spin |
Drying | VCD(30-70pa) |
Pre-Bake | Temp:110-120℃,Time:120sec |
Exp | Energy:200-300mj/cm2(i-Line),gap:200um |
Developement | 0.045%KOH,Time:50-60sec,Temp:25℃ |
Cure | Temp:230-240℃，Time:30min |
4.材料特性
| Brthrper-751A |
| 外观及特征 | 固含量 | 22%±0.5 |
| 粘度 | 5.5cp±0.1 |
| 外观 | 微黄色透明液体 |
| 比重 | 0.96 |
| 黄光工艺后特性 | 膜存率 | 88%（后烘膜厚/显影膜厚） |
| 透过率（400nm，2um） | 99% |
| 折射率（550nm） | 1.54 |
| 表面电阻 | >1014Ω/□ |
| 表面硬度（铅笔硬度计750g，三菱铅笔） | 4H |
| 附着 | On glass | 5B |
| On ITO | 5B |
| On MAM | 5B |
| 爬坡角度（Profile） | <30°（实测25°） |
5.耐化学性及可靠性
| Brthrper-751A |
| 耐超声清洗(30kHz/50℃/10min) | Glass | 5B |
| ITO | 5B |
| MAM | 5B |
| 耐王水(42℃/3min) | Glass | 5B |
| ITO | 5B |
| MAM | 5B |
| 耐碱（4.5%KOH,45℃/5min） | Glass | 5B |
| ITO | 5B |
| MAM | 5B |
| 耐溶剂（丙酮、NMP、IPA、GBL，Time:30min） | Glass | 5B |
| ITO | 5B |
| MAM | 5B |
| 高温高湿（60℃，90RH，Time:480h） | Glass | 5B |
| ITO | 5B |
| MAM | 5B |
6.包装与储存包装：1加仑洁净HDPE桶，加不透光包装袋。
贮存：0~5℃避光保存；紧盖封口，于通风、阴凉处储存；贮运中避免日晒、雨淋、泄露；剩余产品密封存放。
保质期：3个月
售后与服务
如接到使用方技术服务请求后48小时内，将用电话、传真、E-mail提供解决方案或派人前往协助解决
地址（Ad）：深圳市南山区科技园南区高新技术产业园区W1-A座4层A-06
电话（Tel）： (86)-13688815148
