陶瓷材料白色光阻剂Brthrper-CP-401A本品是一款用于PET,玻璃,硅基传感器,片式电感器上的白色负型光阻剂,主要支持黄光制程工艺制造。
本品在玻璃基材与陶瓷基材上分别制作的陶瓷粉光阻材料,使用黄光制程制做的图型。支持微细电子元器件的制造。
1、性能与特点
外观:白色不透明液体
粘度:依用户用途可调
胶膜特性:成膜固化之后结构致密,与玻璃/金属/PET/陶瓷等基板结合紧密
显影干净,无残留,支持5um制程
用于各类器件的白色光阻涂层。
我们通过先进的材料技术将粒子尺寸微细化到200nm
2、指标及参数
序号 | 项目名称 | 指标 | 参考标准 |
1 | OD值(1um) | 2.3-3.0 | 分光光度计 |
2 | 方阻抗值 | 1.3*1014-16 Ω/cm2 | 四探针仪 |
3 | 粘度值 | 5~100cp | 粘度仪 |
4 | 成膜均匀性 | <4% | 9点法 |
5 | 温度耐受范围 | -20~400℃ | 鼓风干燥箱 |
6 | 吸水率 | 1.5% | 100℃/2h |
7 | 85℃,85%湿度(500Hr) | 4-5B | 3M胶带 |
8 | 像素坡度 | 50~70° | 显微镜x50 |
9 | 铅笔硬度 | >4h | 三菱铅笔/750g硬度计 |
10 | 耐化学 | 浸泡1Hr膜完好 | IPA、NMP、GBL、TMAH |
3、工艺参数1. 涂胶:旋涂,刮涂,印刷
2. 前烘温度:90~110℃
3. 曝光:150-300mj/cm^2
4. 显影时间: 50-70秒/CKB-AMPHBAL2001,25-30℃
5. 后烘温度:120~200℃, 30~60min
4、包装及存储
包装:1kg洁净HDPE桶,加不透光包装袋
贮存:0~5℃避光保存;紧盖封口,于通风、阴凉处储存;贮运中避免日晒、雨淋、泄露;剩余产品密封存放
保质期:3个月
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