LPA1218-3 Standalone 晶圆寻边器​

用于12 ~ 18 吋晶圆的高精度自动对准模块，可同时寻边定位中心位置，包括圆形/正方形/双层基板都可以处理，目前可处理翘曲晶圆范围达10mm，对应不同尺寸及透明/半透明/硅晶圆材质只需软件切换，无需机械重新定位，可选择高精度选配。
- 对位时间: 4 秒
- 控制器内建于主体中
- 变更Wafer尺寸，Chuck 不需更换
- 3轴 Prealigner可独立使用
[适用产业&应用范围]
半导体封装，发光二极管，模块及其他等。
​[规格&型号]
LPA1218-3 Standalone 晶圆寻边器
- 共享晶圆尺寸 : 300mm to 320mm, 450 to 470mm
- 芯片材质：透明，半透明，不透明
- 方形基板：适用
- 晶圆搬运方式 : 真空吸盘及针脚
- 定位中心精度 : ±25um on the Prealigner Chuck
- 定位角度精度 :
10000 CPR Encoder ±0.04° at 3 Sigma on the Prealigner Chuck
24000 CPR Encoder ±0.02° at 3 Sigma on the Prealigner Chuck
- 主机移动轴 : 3轴
- 控制选项 : RS232, Ethernet, PC control
- 可调整芯片偏移量 : 12mm
- 主体尺寸（宽x长x高） : 173mm x 404mm x 190mm
- 重量 : 5.70kg
- 电力及真空需求 : 100-240VAC, 50/60Hz, 48VA, or 24VDC/2A Vacuum 12" Hg
- Flat / Notch兼容性：符合SEMI标准
- 无尘规范 : Class 1
- MTBF : More than 70000 hours

​LPA812-3 Standalone 晶圆寻边器

用于3 ~ 12 吋晶圆的高准度自动对准模块，可同时寻边定位中心位置，包括圆形/正方形/双层基板都可以处理，目前可处理翘曲晶圆范围达10mm，对应不同尺寸及透明/半透明/硅晶圆材质只需软件切换，无需机械重新定位，可选择高准度选配。
- 对位时间: 4 秒
- 控制器内建于主体中
- 变更Wafer尺寸，Chuck 不需更换
- 3轴 Prealigner可独立使用
[适用产业&应用范围]
半导体封装，发光二极管，模块及其他等。
​[规格&型号]
LPA812-3 Standalone 晶圆寻边器
- 共享晶圆尺寸 : 200mm, 300mm
- 芯片材质：透明，半透明，不透明
- 方形基板：适用
- 晶圆搬运方式 : 真空吸盘及针脚
- 定位中心精度 : ±25um on the Prealigner Chuck
- 定位角度精度 :
10000 CPR Encoder ±0.04° at 3 Sigma on the Prealigner Chuck
24000 CPR Encoder ±0.02° at 3 Sigma on the Prealigner Chuck
- 主机移动轴 : 3轴
- 控制选项 : RS232, Ethernet, PC control
- 可调整芯片偏移量 : 12mm
- 主体尺寸（宽x长x高） : 173mm x 317mm x 190mm
- 重量 : 5.40kg
- 电力及真空需求 : 100-240VAC, 50/60Hz, 48VA, or 24VDC/2A Vacuum 12" Hg
- Flat / Notch兼容性：符合SEMI标准
- 无尘规范 : Class 1
- MTBF : More than 70000 hours
​

​