SPS(POLOS)多功能旋转涂布机Spin200i台式类型

技术参数：

41387 POLOS SPIN200i NPP
类型： 台式 台式
POLOS Spin200i 是一种多功能、高质量的基材旋涂机，由 PTFE 或 NPP 制成。它专为研发和小批量生产而设计。台式型号可手动或自动（可选）分配化学品。
适用于镀膜、清洁、冲洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI 及其他工艺。
规格：
- 适用于8 英寸（200 毫米）晶圆
- 适用于 6 英寸 x 6 英寸（150 毫米）基板
- 材料 天然聚丙烯 (NPP)
- 12.000 RPM（取决于基底/卡盘）
- 高加速度和高精度
- 手动化学品分配
- 顺时针和逆时针旋转
- 带可定制图标的彩色触摸屏
- USB 端口

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POLOS 200 高级单基板旋转处理器，台面模型桌面版，自动化学品分配，重型电机。它支持多种流体，

这要归功于天然聚丙烯和聚四氟乙烯的全塑料外壳。电机模式旋转的控制，

结合POLOS Advanced系统中多达6个自动点胶机，可实现多层薄膜的均匀沉积和光刻胶显影。

这些功能通过全自动配方和高可重复性实现快速工艺优化。

适用于涂布、清洗、漂洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI等工艺。

旋转涂布机适用于:


涂层
清洁
冲洗/干燥
发展中的
蚀刻版画
PDMI和其他进程
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 SPS(POLOS)多功能旋转涂布机Spin200i台式类型​