SPS(POLOS)旋涂机POLOS 450高级单衬底自旋处理器

POLOS 450高级单衬底自旋处理器，台式，带NPP外壳、自旋杯、手动化学分配和重型马达。符合空气动力学的高效处理室提高了均匀性，而天然聚丙烯或不锈钢处理室保证了无污染、易于清洁的处理区域。所有装置都具有可编程的顺时针和逆时针旋转和搅拌功能。​

最适合干燥、冲洗/清洁和自动涂布

规格:

• 高达500毫米的圆形和350 x 350毫米的方形基板
• 材料:天然聚丙烯(高等级NPP、工具主体和所有浸湿表面)
• 手动化学品分配2条自动静态分配线
• 气动盖子打开和关闭
• 卡盘适配器和一个真空卡盘，适用于多达3种晶片尺寸
• 最大速度1500转/分
• 自动顺序或并行化学分配器
• 透明盖子，中心周围有6个注射器组件。(每个可独立编程)
• 顺时针和逆时针旋转水坑
• 带有可定制图标的(可拆卸)彩色触摸屏
• 标准1英寸排水接头
• 精密数字电机控制器(最高1500转/分)
• 用于容纳6x蠕动泵的独立模块

SPS(POLOS)旋涂机POLOS 450高级单衬底自旋处理器​