SPS(POLOS)超声波喷涂系统POLOS UC320产品说明
我们的POLOS台式超声波喷涂系统用于R&D和小批量生产领域的精密喷涂。典型的应用包括用于各种晶片材料的光致抗蚀剂涂层和为薄膜工艺产生功能层。
全新POLOS UC320系统允许高精度纳米颗粒涂层,与标准光刻胶应用技术相比,光刻胶消耗效率更高。在我们的超声波喷涂系统中,材料利用率超过95%,这将使我们的用户降低光刻胶消耗的成本,并提高他们的加工效率。倾听客户的需求,我们设计了一个紧凑的系统,具有易于使用的软件控制,能够从各种超声波喷嘴和免费选项中进行选择,让您找到适合其过程应用的完美匹配。
POLOS UC320标准配备集成注射泵、载气调节、超声波发生器和可控运动系统。拥有专利的超声波喷涂技术,该系统可以提供高度均匀和高效的精细喷涂。
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产品编号
POLOS UC320
材料
桌面系统
基板尺寸
最大值喷洒面积:150毫米x 150毫米
模型
喷洒宽度:1毫米至100毫米
系统类型
台式模型
SPS(POLOS)超声波喷涂系统POLOS UC320产品说明