三维相移电子散斑干涉仪可满足物体表面面内位移和离面位移同时测量的要求。该仪器使用绿色半导体激光器作光源，并配以电子散斑条纹实时显示和位相处理软件，使得操作方便、测量结果兼容性强（便于通用数据处理软件接口）。利用现代光学成像技术和计算机数字图像采集处理技术可直接观察干涉条纹。而相移技术的应用使得该方法的测量精度大大提高。可用于工程结构的变形分布和残余应力测量，也可用于动态振型的实时测量。
主要技术条件: 绿光泵浦激光器:单模.输出功率?15mW, 波长=5322? 扩束镜：?精密半球扩束镜 半反射半透射棱镜及反射镜：镀532nm增透膜 变焦镜： 28mm—80mm ZOOM CCD：分辨率：768×576 400线 56db 图像板：Matrox Meteor-II/Standard（加拿大） 相移器电源精度：
0.01伏/step 演示试件：周边固定圆板（可以完成面内和离面位移的演示实验） 最近工作距离：约300mm 最远工作距离：约1500mm