英国Edwards(原名BOC Edwards)是世界上最主要的真空产品制造商之一,其AUTO系列的真空镀膜机在全球拥有上千位客户,客户遍及工业企业、科研院所、军工国防等。AUTO系列的主要型号有AUTO306,AUTO500及TF600。系统平台采用成熟的模块化设计,可以实现热阻蒸发、OLED/有机物蒸发、电子束蒸发、磁控溅射以及以上多种镀膜方式的组合。重要系统组件均使用世界顶级品牌的产品,以匹配Edwards的品质。典型的应用有:半导体器件、电子器件研制
纳米技术研究
光学镀膜
Lift-off工艺
磁性薄膜
SEM/TEM样品制备
OLED器件研究
石英晶振片(QCM)制造
CD母盘制造
指纹鉴定技术