设备规格：HGPCVD－600等离子清洗机
整机规格： 1500×1500×1800（长×宽×高）mm

反应室尺寸：600×600×700（长×宽×高）mm     316(不锈钢)

射频功率：0～1000Ｗ（连续可调）
射频电源：13.56 MHz，可选用27.12 MHz系列

输入电源：380（三相）V／50Hz
整机输入功率：4KW（含真空泵）
整机重量：800 Kg

功能：
• 对金属、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物表面的有机污染物 （如石蜡、油污、脱膜剂、蛋白等）清洗。
• 改变材料表面的性能。
• 使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化，加强这些材料的粘附性、相容性和浸润性。
• 清除金属材料表面的氧化层。
• 对被清洗物进行消毒、杀菌。

优点：
• 具有性能稳定、性价比高、操作简便、使用成本极低、易于维护的特点。 
• 对各种几何形状、表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面进行超清洗和改性。 
• 完全彻底地清除样品表面的有机污染物。
• 定时处理、快速处理、清洗效率高。                             
• 绿色环保、不使用化学溶剂、对样品和环境无二次污染。
• 在常温条件下进行超清洗，对样品非破坏性处理。

应用领域：

• 光学器件、电子元件、半导体元件、激光器件、镀膜基片、终端安装等的超清洗。
• 清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。
• 移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质，去除金属材料表面的氧化物。
• 清洗半导体元件、印刷线路板、ATR元件、人工晶体、天然晶体和宝石。
• 清洗生物芯片、微流控芯片、沉积凝胶的基片。
• 高分子材料表面的修饰。
• 封装领域中的清洗和改性，增强其粘附性，适用于直接封装及粘和。
• 改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。
• 涂覆镀膜领域中对玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面的改性，使其活化，增强表面粘附性、浸润AAA性、相容性，显著提高涂覆镀膜质量。
• 牙科领域中对钛制牙移植物和硅酮压模材料表面的预处理，增强其浸润性和相容性。
• 医用领域中修复学上移植物和生物材料表面的预处理，增强其浸润性、粘附性和相容性。对医疗器械的消AA毒和杀菌。