设备规格：HGPCVD－280离子蚀刻机
整机规格： 500×500×600（长×宽×高）mm

反应室尺寸：280×60（直径×高）mm     316(不锈钢)

射频功率：0～1000Ｗ（连续可调） AE PE-1000型号

流量计：进口质量流量控制器，50sccm，20sccm各两件

真空计：MKS 10Torr

工作模式：蚀刻+PECVD

整机输入功率： 2KW（含真空泵）
整机重量：100 Kg