序号

项目

基本型

LOADLOCK型

1

镀膜室尺寸

∮500

∮500

2

真空室数量

1

2

3

镀膜方向

上垂直安装阴极，向下溅射

上垂直安装阴极，向下溅射

4

阴极尺寸

∮50、∮100、∮160

∮50、∮100、∮160

5

阴极数量

2-6个

2-6个

6

真空系统

粗抽+分子泵组

粗抽+分子泵组

7

工艺气体路数

4路

4路

8

压力检测

MKS 1Torr

MKS 0.5Torr

9

极限真空度

8*10-5Pa

8*10-5Pa

10

镀膜电源

直流、中频、射频

直流、中频、射频

11

加热温度

最高350度

最高350度

12

膜层数量

单层-多层

单层-多层

13

膜层种类

金属膜、反应膜、绝缘膜

金属膜、反应膜、绝缘膜

14

样片尺寸

最大8寸

最大8寸

15

样片数量

单片为主

单片为主

16

溅射不均匀性

≤±5%

≤±3%

17

控制系统

PC+PLC

PC+PLC

18

控制方式

自动+手动

自动+手动