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产品说明书
IGZO靶材 |
纯度（IGZO>99.99%）密度6.0g/cm3 |
杂质（PPM Max.） |
杂质名称 | 含量 | 杂质名称 | 含量 |
Fe | 4 | Ni | 4 |
As | 6 | Sb | 5 |
Cd | 4 | Ca | 8 |
Cu | 3 | Pb | 1 |
Co | 3 | Mg | 3 |
Cr | 2 | Na | 2 |
Mn | 4 | Zr | 3 |
颜色 | 灰黑色 |
相对密度 | ≥99% |
产品指标
1）纯度≥4N（99.99%，基于金属杂质）
2）相对密度大于等于99%
3）产品最大尺寸：300X300mm
4)靶材电阻率：1X10-2—10-3Ωcm
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