ITO靶材

相对密度

≥98.5%（+7.05g/cm3）

电阻率

0.2mΩcm

外观颜色

黑色

In2O3/SnO2(wt%)

90:10

纯度（In2O3+SnO2＞99.95%）

杂质（PPM Max．）

杂质名称

含量

杂质名称

含量

Fe

7

Ni

4

Ca

5

Sb

5

Cd

4

Si

7

Cu

5

Pb

2

Co

2

Mg

2

Cr

1

Na

2

Mn

5

Zr

3