靶材纯度

　＞99.8%（2N8）

相对密度

　＞99.6%

晶粒尺寸

　＜100um

尺寸

　矩形靶长度可达1800mm,宽度可达350mm,
　直径可达500mm

产品规格

　根据客户要求提供