德国普发 Hipace 10-800系列涡轮分子泵
产品优点：
抽速从10-800L/秒的全系列产品
稳健性工业设计和经过实践证明的高可靠性轴承系统
紧凑型结构以满足更小的物理空间安装需求
高气流量和高抽速
可任意角度安装
防护等级IP54符合工业环境应用要求
可应用于腐蚀性气体工况
可现场更换轴承
SEMI S2和UL认证
完整的配件体系扩展了潜在客户的需求
更长的现场维护保养时间
技术参数：
分子泵型号 | 分子泵 连接尺寸DN | 抽速l/s | 压缩比 | 最高启动压强mbar | 冷却方式 | 启动时间 | 重量 |
进气口 | 出气口 | 氮气N2 | 氦气He | 氢气H2 | 氮气N2 | 氮气N2 | | min | kg |
HiPaceTM10 | 25 | 16 | 10 | 6 | 3.7 | 3*10E6 | 25 | 风冷 | 0.9 | 1.9 |
HiPaceTM80 | 63 | 16 | 67 | 58 | 48 | 1*10E11 | 20 | 风冷 | 1.75 | 2.4 |
HiPaceTM300 | 100 | 16 | 260 | 255 | 220 | 1*10E11 | 15 | 风冷 | 2.5 | 6 |
HiPaceTM400 | 100 | 25 | 355 | 470 | 445 | 1*10E11 | 20 | 风冷 | 2 | 12.3 |
HiPaceTM700 | 160 | 25 | 685 | 655 | 555 | 1*10E11 | 20 | 风冷 | 2 | 12.3 |
