德国PFEIFFER普发ATH1600-3200 M系列磁悬浮涡轮分子泵
上海春粟自动化科技有限公司
中国 上海
产品属性
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品牌
德国PFEIFFER普发
型号
ATH1600-3200 M系列
工作原理
涡轮分子泵
极限真空度类型
超高真空
极限真空度
6*10E-7Pa
抽气速率
2200L/s
温升
15-25℃
转速
39000r/min
适用领域
半导体、分析仪器、镀膜、研发
加工定制
否
重量
68kg
