HIpace M和ATH 500 M拥有5轴磁轴承。利用这种轴承技术,转子的位置能被实时控制。在工作中,
动平衡装置会进行自动校准。可以最小程度上减轻震动和工艺过程中产生的轴承位移。低能耗和极
低的维护成本确保了其极高的性价比。
产品优势:
安装简便
任意角度安装
集成控制器
无润滑油的磁轴承技术实现真正的洁净真空
对所有过程气体都能实现高气流量
低震动及低磁场干扰
动平衡自动补偿
转速范围大
出色的稳定性和可靠性
技术参数:
分子泵型号 | 分子泵 连接尺寸DN | 抽速l/s | 压缩比 | 最高启动压强mbar | 冷却方式 | 启动时间 | 重量 |
进气口 | 出气口 | 氮气N2 | 氦气He | 氢气H2 | 氮气N2 | 氮气N2 | | min | kg |
HiPace 300 M | 100 | 16 | 255 | 215 | 170 | 1*10E11 | 28 | 水冷 | <2 | 17.2 |
HiPaceT 700 M | 160 | 25 | 685 | 600 | 480 | 1*10E11 | 13 | 水冷 | 4 | 20.8 |
HiPace 800 M | 200 | 25 | 790 | 625 | 500 | 1*10E11 | 13 | 水冷 | 4 | 21.5 |
ATH 500 M | 160 | 25 | 550 | 390 | 190 | 2*10E7 | 67 | 水冷 | <2 | 18 |
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