产品优点：
抽速从1000-2000L/秒提供四个抽速等级
对小分子量气体（氢气、氦气）和大分子量气体（氩气、CF4)都有很高的抽速
安装角度可选0°-90°或90°-180°
有抗腐蚀性气体型号可选（C型号）
带节流阀和阀门的集成净化气体系统
电压范围90-265V
界面接口：RS-485，远程控制；Profibus或DeviceNet可选
获得SEMI S2、UL、CSA和TUV认证
防护等级IP54符合工业环境应用要求
最大可能的符合各种工艺过程，能够忍受颗粒物
技术参数：
分子泵型号 | 分子泵 连接尺寸DN | 抽速l/s | 压缩比 | 最高启动压强mbar | 冷却方式 | 启动时间 | 重量 |
进气口 | 出气口 | 氮气N2 | 氦气He | 氢气H2 | 氮气N2 | 氮气N2 | | min | kg |
HiPaceTM1200 | 200 | 40 | 1250 | 1300 | 1100 | 10E8 | 20 | 水冷 | 0.9 | 40 |
HiPaceTM1500 | 250 | 40 | 1400 | 1350 | 1150 | 10E8 | 20 | 水冷 | 1.75 | 41 |
HiPaceTM1800 | 200 | 40 | 1450 | 1650 | 1700 | 10E8 | 20 | 水冷 | 2.5 | 34 |
HiPaceTM2300 | 250 | 40 | 1900 | 2000 | 1850 | 10E8 | 20 | 水冷 | 2 | 47 |
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