光楔式光束扫描模块主要针对100μm好以上的高精度圆孔加工而开发，光楔式光束扫描模块的扫描速度最高可达5000rpm以上，与光束平移装置组合后，可进行不同锥度圆孔的加工。
功能特点：
T型：是平板类高精度细圆环或圆面刻蚀的不二之选，也可以进行圆孔的加工；
P型：在T型扫描头的基础上，增加可编程的光束元件，用以实现不同锥度的微孔加工，其最大优点是圆孔的锥度可调；
E型：在T型扫描头的基础上，增加可更换的光束平移元件，用以实现一定锥度的微孔加工，其最大优点是孔的精度高，使用寿命更长。
主要技术参数：
激光损伤阈值 | >100mJ/cm2@200fs，1030nm |
扫描范围 | ±4.6mrad（典型值，可根据要求定制） |
扫描精度 | 20μ rad |
锥度范围 | -2°~ +1°（仅针对P型光束扫描模块） |
深径比 | ≥10:1 |
能量利用率 | >95% |
转速 | >5000rpm |
