设备主要针对平面类或相近零件的高精细刻蚀、切割、钻孔和阵列微结构的批量加工,可实现各种材料(尤其是高硬度、脆性材料)零件的加工;特别适用于消费类电子手机盖板切割、表面刻蚀、微孔加工;蓝宝石、树脂等工艺美术品雕刻、切割;以及其他精细微结构的无热化刻蚀。
功能特点:
l 根据用户的加工需求,可选配超短脉冲激光器:飞秒、皮秒,同时可选配长脉冲纳秒激光器或QCW激光器;
l 全封闭双光路设计:满足红外、绿光两光路输入、输出,并可实时切换;
l 可一次夹装实现高精度微孔成型、微结构刻蚀、复杂图形精细切割;、
l 配置显微对位模块,可实现双路视觉精确对位;
l 精密型直线电机四轴运动定位系统,确保零件的高精度定位;
l 定制开发的控制系统与人机界面,可编程群孔(微结构)加工模式,效率高、工作稳定可靠。
主要技术参数:
运动行程 | 500mm*300mm*200mm*360°(X、Y、Z、C) |
最小钻孔直径 | 50μm |
孔径精度 | ≤±0.005mm(可根据用户需求定制≤±0.001mm) |
定位精度 | ±0.002mm |
最大钻孔深度 | 4mm |
钻孔锥度 | -3°~﹢5°可调 |
最小切割线宽 | 8μm |
刻蚀精度 | ±2μm |