设备主要针对航空航天领域的关键小型零部件的超精细冷加工而开发，可实现各类金属、非金属国、特别是复合材料表面的各类微结构的加工，如通孔、异形孔、盲孔、微腔、型腔、异型槽等复杂形貌微结构的制备。该设备特别适合于航空发动机叶片气膜孔的高品质高效制孔。
功能特点：
l 可根据用户加工需求选用飞秒或皮秒激光器，实现超低热效应微细加工，加工表面完整性好；
l 可实现复杂曲面的空间角度微结构加工；
l 可实现圆孔类和复杂形貌微结构加工；
l 具有三维轮廓检测辅助定位功能，可进行工件准确定位；
l 具有差民化工艺参数的群孔自动连续加工；
l 具有末端光斑位置和偏差进行监控检测功能；
l 具有加工状态实时在线图像检测功能；
l 具有局部光路净化封装，设备可以适应非超净环境工作。
主要技术参数：
复杂微结构加工能力 | 加工精度 | ±0.005mm |
最小切割线宽 | 8μm |
表面粗糙度 | Ra≤0.4μm |
高品质制孔能力 | 孔型 | 圆柱孔、正锥孔、倒锥孔 |
孔径范围 | Φ0.05mm ~ Φ1.5mm |
孔径精度 | ≤±0.005mm（可根据用户需求定制≤±0.001mm） |
定位精度 | ±0.01mm |
最小斜孔夹角 | 30° |
深径比 | ≥20:1 |
运动行程 | 1000mm
x 450mm x 500mm x ±110° x 360°（X、Y、Z、A、C） |
