棱镜式光束扫描模块主要针对200μm以下高精度微孔精密加工而设计，采用倍增光束旋转扫描系统，提升加工效率，焦点光斑扫描速度最高可达到10000rpm以上，性能稳定可靠，配合超快激光，达到优秀的加工品质。
功能特点：
l 具有开机自检加零功能；
l 具有恒线速度扫面功能；
l 具有断点续加工功能；
l 具有图像在线检测功能；
l 具有用户二次开发功能。
主要技术参数：
激光损伤阈值 | 10J/cm2@1064nm，10ns |
焦距 | 100mm（用户需求定制） |
孔径分辨率 | ≤0.5μm |
孔径加工精度 | ≤±2μm |
光束锥度调节 | -3°~ +1° |
最高转速 | 12000rpm |
重量 | 15Kg |
工作环境 | 普通室内环境 |
