美国丹顿真空设备有限公司是世界真空镀膜设备制造商,成立于1964年。丹顿是美国军方签约的设备供应商,为美国军品研发和制造提供真空镀膜设备。作为美国老牌“军工”企业,丹顿真空以设备的实用性和可靠性见长。目前,丹顿真空已为全球客户设计制造了总数超过5千台的各种规格的电阻/电子束蒸发、磁控溅射、离子束溅射/刻蚀和等离子体化学气相沉积镀膜系统,产品广泛应用于科研开发、小规模制造和工业生产等领域。
Integrity® 镀膜设备系列是丹顿真空历史最长的产品,应用于精密光学以及半导体,微电子等行业镀膜,为世界范围内诸多的生产、研究机构所青睐。
丹顿Integrity®蒸发镀膜系统可为您提供一个功能强大、配置灵活的镀膜平台,并提供充分的选择以满足您特定的应用要求。系统真空室的直径范围从500mm到2m,配置灵活,稳定可靠。可以配置多种蒸发源、辅助离子源和光学监控,采用全自动控制,实现工艺的稳定性。系统坚固耐用,维修率低,且具有远程诊断功能,实现快速技术支持后售后和服务。
系统技术规格 编号 | 项目 | 具体指标 |
1 | 真空室直径 | 从500mm到2000mm |
2 | 极限真空 | 优于2E-7torr |
3 | 高真空泵 | 低温泵或扩散泵可选 |
4 | 低真空泵 | 双叶旋片泵或干泵可选 |
5 | 蒸发源 | 可以配置电子枪或者电阻蒸发源,或同时配置电子枪和电阻蒸发源 |
6 | 电子枪配置 | 多种型号270°电子枪可供选择: 不同尺寸,形状的坩埚 不同功率的电源:6KW,8KW,10KW,15KW 超高真空电子枪 |
7 | 工装夹具 | 穹顶式工件盘,可以配置自动翻面功能 行星式工件盘 KNUDSEN式工件盘 |
8 | 气体 | 可配置多路工艺进气 |
9 | 膜厚监控 | 石英晶体膜厚控制仪 、光学膜厚仪可选 |
10 | 加热系统 | 上加热或下加热可选 |
11 | 预清洗 | 选配 |
12 | 离子辅助沉积 | 选配 |
13 | 镀膜均匀性 | ≤±2~ ±3% |
14 | 镀膜重复性 | ≤±2~ ±3% |