进口PVA TePla 射频等离子体清洗机

——PVA TePla 跨国型企业，40年等离子体设备经验

PVA TePla 公司设备采用模块化设计，可以根据客户产品需要更换不同类型腔体，满足客户需要。

规格参数：


铝制/石英腔体，模块化设计，可根据产品需要，更换滚筒、粉末滚

、水冷极板等多种腔体结构。筒、垂直极板、平行极板、料盒极板

13.56MHz风冷射频电源（0-600w/0-1250w可调电源），具有可调脉冲功能

最多6路气体


可选配液态单体操作装置

外形尺寸：

737×1980×1118 mm（635×1120×1473 mm选配）


应用领域：


去除光刻胶photo-resist stripping


表面精密清洁surface precision cleaning


表面活化 surface modification


提高表面粘合性 bond strength enhancements


改变表面亲水性/疏水性 hydrophilic/hydrophobic


分子接枝 molecular grafting


涂层 plasma deposited coatings