进口PVA TePla 射频等离子体清洗机

——  PVA TePla 跨国型企业，40年等离子体设备经验

PVA TePla 射频等离子体清洗机

规格：

铝质腔体

容积：36.5L

射频电源：13.56MHz风冷射频电源（0-600W可调）脉冲可调功能

电极：平行/垂直/水冷温控/料盒/笼式

工艺气体：标配2路工艺气体

工艺气体控制：防腐蚀不锈钢MFC

其他气路：1路回填气路，1路驱动气路

外形尺寸：775×723×781 mm

 

选配：

射频电源功率：0～300W或0～1000W

工艺气体：多至6路

可选配液态单体操作装置

可选压力控制装置

可选温控装置

可选不锈钢腔体

 

 

 

典型应用：

去除光刻胶photo-resist stripping
表面精密清洁surface precision cleaning
表面活化 surface modification
提高表面粘合性 bond strength enhancements
改变表面亲水性/疏水性 hydrophilic/hydrophobic
分子接枝 molecular grafting
涂层 plasma deposited coatings

认证：

CE 认证
EN 61010
EN 61326
Semi E95

CISPR 55011

ISO 9001

NFPA79

NFPA70