微波等离子体技术半导体生产工艺中已经采用微波等离子体技术，进行刻蚀、溅射、气相沉积、氧化硅片；还可用于金属、合金、非金属的表面处理；用于等离子体光谱分析可检测十几种元素。医疗微波生物效应分热效应和非热效应。其热效应在医疗方面可进行微波理疗、配合放疗和化疗进行透热治癌；另外还可以利用微波加热血浆、解冻冷藏器官；还可设计微波手术刀，开刀止血快、出血量少。

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工业微波干燥设备主要用于工业材料的干燥工艺，具有干燥速度快、效率高、无污染等特点。

工业微波烘干设备又称工业微波烘干机，它是一种用来烘干食品，药材，木材，建材，纸板等物料的微波机，与传统烘干设备相比，微波烘干设备[1]的特点是：烘干速度快，效率高，环保节能，是响应低碳经济的新型设备。它的工作原理是利用微波的穿透性加热提高物料的温度，使物料中的水分汽化蒸发，蒸发出来的水蒸汽由排湿系统排走而达到烘干物料的目的。以下是关于微波详细资料。

一、 主要技术参数：

● 电源输入：        三相380V±10%，50Hz

● 总输入视在功率：  约96kW

● 微波输出功率：    ≥60kW功率可调（隧道式）

● 微波频率：        2450MHz±50MHz

● 外型尺寸：       （约）11000×1140×1800㎜（长×宽×高）

● 传送速度：        0～5 m/min

● 工作温度：        -5～35℃

● 工作环境：        相对湿度≤80%

● 周围环境：        周围无腐蚀性气体、导电粉尘及易爆气体

● 微波漏能：        符合国家GB10436-89 微波辐射安全标准（＜5 mW/㎝2）

● 设备安全：        符合GB5226电器安全标准

符合国家GB16798-1997食品机械卫生安全指标

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烟丝微波烘烤设备对烟丝填充力及吸食品质的影响正常烘丝工艺的烟丝经2～12s的微波烘烤后，填充力比对照提高0.2%～4.07%，分析烟丝中的化学成分与对照相比，总糖含量有所增加，总氦含量变化不大，烟碱含量有所减少；评吸结果表明：香气质量提高，刺激性减弱，余味更舒适，口感较好；微波烘烤能降低焦油及CO释放时，提高卷烟安全性。