ALS5000WB 直线电机平台

1.宽底座可以承受较大的偏移负载

2.强大的双直线电机驱动

3.坚硬涂层台面和导轨罩

4.完全整合电缆管理系统

5.可选气体净化的密封设计

行程1000mm

精度±1.0um

负载135.0kg

asl5000-1476-A

asl5000-1477-A

asl5000-1478-A

asl5000-1479-A

asl5000-1480-A

asl5000-1481-A

asl5000-1482-A

asl5000-1483-A

asl5000-1484-A

asl5000-1485-A

asl5000-1486-A

asl5000-1487-A

asl5000-1488-A

asl5000-1489-A

asl5000-1490-A

asl5000-1491-A

Aerotech ANT-95系列气浮轴承直驱直线运动平台，拥有超高精度的定位功能，精度在0.2~0.5um之间。

ant95系列定位平台优点：

?几何性能卓越的气浮导轨

?1.2 m x 1.2 m 的行程

?光柵尺或激光回馈干涉仪

? 分辨率1nm

? 重复定位精度50nm

?亚微米定位精度

?XY 和 XYZ 集成系统

?无槽直接驱动电动机

同时我们还提供其他型号的纳米级直线、旋转高精密运动平台，比如 pro系列，ABL系列等等。

ANT95-R 和

ANT130-R

? 0.01 弧秒的分辨率

? 0.005 弧秒的静态定位稳定性

? 很小的运动误差

? 多轴配置

? 高动态性能

? 有限或无限旋转

? 95 mm 和 130 mm 的直径