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美国ENGIS晶圆双面研磨抛光设备EKD-16B5L
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1
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产品属性
图文详情
品牌推荐
品牌
美国ENGIS
型号
EVG-250
类型
研磨抛光
加工定制
用途
研磨抛光减薄
电源
220V/Hz
功率
11W
外形尺寸
1mm
重量
1kg
Number of Working StationsNumber of axisPLATE r.p.m
1~251~60 r.p.m Slow-start, Slow-Stop
CARRIER SPEC.
DP=12 , Z=200
SYSTEM
4 WAY, 3 MOTOR
Carrier array
3~12
Vacuum Chuck Size
Ø250
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