AlGaN/GaN on SiC碳化硅基GaN外延片生产厂家 RF HEMT
苏州恒迈瑞供应RF HEMT应用碳化硅射频高电子迁移管GaN 氮化镓外延片,尺寸涵盖4英寸及6英寸,SiC碳化硅与GaN氮化镓由于晶格失配较小,导电、热导率高,是主流的GaN外延生长衬底之一。其中,导电型SiC衬底主要用于外延GaN基LED等光电子器件、SiC基电力电子器件,半绝缘型SiC衬底主要用于外延制造GaN高功率射频器件,比如5G基站中的PA、雷达等。
氮化镓外延片可在硅衬底、碳化硅衬底或蓝宝石衬底上进行生长,从成本和大批量生产考虑,外延的每一层的沉积一般采用MOCVD(金属氧化物化学气相沉积)。GaN HEMT是基于AlGaN/GaN异质结,一般采用Si或者SiC作为异质衬底,异质衬底就需要在衬底上生长一层缓冲层(AlN)。氮化镓作为第三代半导体材料,具有远优于一、二代半导体的禁带宽度、导通电阻、热导率。氮化镓的禁带宽度是硅的3倍、亦高于碳化硅;击穿电场为硅的10倍、较硅可耐受更高电压;因此,同样额定电压的氮化镓开关功率器件的导通电阻几乎比硅器件低3个数量级,大大降低了开关的导通损耗;同时,氮化镓是少见的同时具备高电子迁移率(1,250 cm2/Vs)和高饱和电子漂流率(2.2*107cm/s)的材料,意味着其所能承载的电流密度更高,因此能够在同尺寸的晶体管中产生更高的射频频率;氮化镓的热导率为砷化镓的4倍左右,且具备高热稳定性等优势。